Системы акустической микроскопии
 |
 |
 |
 |
| Оптическое изображение | Изображения слоев | 3D изображение внутренней стороны | Изображение с областью отслоения |
Уникальной особенностью акустической микроскопии является способность проводить неразрушающий анализ и внутренний осмотр непрозрачных изделий с разрешением оптической микроскопии.
Спрос на передовые решения неразрушающего анализа с помощью сканирующих акустических микроскопов растет во всех областях современной науки и техники.
Компания «Интербалт» представляет на рынках России, СНГ и стран Балтии уникальное оборудование акустической микроскопии PVA TePla Analytical Systems, работающее на частотах от 3 до 2000 МГц. Уникальные трансдьюсеры собственного производства PVA TePla, специальное программное обеспечение улучшения изображений и аппаратные фильтры позволяют получить ранее недостижимое разрешение.
Принцип работы
Сканирующий акустический микроскоп работает по методу отражения импульса.
Трансдьюсер излучает и принимает короткие звуковые импульсы с высокой частотой. Эти импульсы преобразуются в акустической линзе трансдьюсера и распространяются как плоскопараллельные волновые поля. При достижении границы или неоднородности, одна часть импульса проходит сквозь, а другая – отражается и возвращается на трансдьюсер. Трансдьюсер преобразует звуковые импульсы в электромагнитные, которые изображаются как точки с определенным уровнем серого цвета.
Таким образом, может быть представлена информация о неоднородностях в материале, вызванной микротрещинами, вкраплениями, пузырями, пустотами, отслениями с разрешением светового микроскопа. Также предоставляется информация о слоях внутри материала и зернистой структуре.
Компоненты
Главный компонент сканирующего акустического микроскопа – трансдьюсер. Рабочая частота трансдьюсера определяет важные рабочие характеристики микроскопа. В таблице представлены сводные данные зависимости характеристик микроскопа от частоты трансдьюсера.
| Группа | Низкая частота | Средняя частота | Высокая частота | Ультравысокая частота |
| Частота | 10-30 МГц | 50-75 МГц | 100-230 МГц | 0,4-2 ГГц |
| Применение | Анодные соединения, сварки, микросборки | BGA, присоединение кристаллов | Тонкие пластиковые корпуса, перевернутые кристаллы | Керамика, сплавы |
| Выявляемые дефекты | Неоднородности, трещины | Отслоения, неоднородности, трещины | Отслоения, неоднородности, трещины | Нанопустоты, дефекты, границы |
Особенности |
Низкое разрешение. Длинное фокусное расстояние. Глубокое проникновение |
Высокое разрешение. Короткое фокусное расстояние. Приповерхностное исследование |
||
 |
|
|||
Применение
|
Промышленность: |
Полупроводники: |
Биотехнология:
|
 |
 |
 |
|
Поликристаллическая структура солнечных элементов |
Отслоения в интегрированной микросхеме |
Акустическая микрофотография жизнеспособных клеток HeLa в условиях инкубатора
|
 |
|
 |
|
Коррозия под лакокрасочным покрытием |
МЭМС Отслоение подложки |
Микрофотография имплантанта слуховой косточки |
 |
 |
 |
|
Микротрещина в солнечном элементе |
Акустическая микрофотография изделия Flipchip |
Изображения акустического анализа структуры кости |
Продукция
|
Модель
|
Диапазон частот
|
Применение
|
|
|
AM 300 |
5 – 250 МГц |
Промышленность и исследования |
|
|
SAM 300/E/TWIN/QUAD |
5 – 400 МГц |
Целенаправленные исследования, контроль качества технологических процессов |
|
|
SAM 400/TWIN/QUAD |
5 – 400 МГц |
Высокая пропускная способность исследований |
|
|
SAM 1000/2000 |
100 – 2000МГц |
Промышленность и исследования высокого класса |
|
|
SAM 1000/2000 Inverted |
100 – 2000МГц |
Промышленность и исследования высокого класса |
|
|
SAM 300 AUTO WAFER SINGLE/TWIN/QUAD |
5 – 400 МГц |
Встроенный контроль производства |
|
|
AUTO TRAY |
Встроенный контроль производства |
||
|
AUTO INGOT |
Объемная инспекция единичных кристаллических отливок |
Публикации
Публикации о различных применениях акустических микроскопов (на английском языке)
* - новые публикации