Плазменные технологии

Плазма — это состояние материи, такое же, как твердое, жидкое или газообразное. При добавлении энергии к газу последний ионизуется и переходит в плазменное состояние. Химически это очень активная среда, которая при определенных условиях может использоваться для удаления поверхностного слоя, чтобы получить доступ к нижележащим слоям.

Плазма может придавать поверхностному слою специальные свойства. Например, плазменная обработка может улучшить адгезию или смачиваемость.

Схематично устройство камеры микроволновой пакетной плазменной установки показано на рисунке.