AUTO INGOT – это акустический томограф для контроля заготовок монокристаллов (Si, Ge, GaAs и т.п.) в промышленном масштабе, анализа каверн, включений, определения их глубины и размера одновременно. Инструмент позволяет контролировать заготовки диаметром 5-12 дюймов до толщины 400 мм и весом до 75 кг. В кремнии можно определять дефекты размером вплоть до 100 µм. Для контроля крупных и тяжелых заготовок по заказу поставляются специальные порты загрузки и сканер.
Линия SAM AUTO TRAY была специально разработана для контроля производства электронных устройств, печатных плат и других сложных компонентов. Системы AUTO TRAY соответствуют чистым комнатам класса 10.
Системы AUTO TRAY применяются, главным образом, для определения каверн, включений, отслоений и разброса толщины склейки между двумя пластинами. С помощью системы AUTO TRAY можно одновременно контролировать несколько слоев.
SAM 300 AUTO WAFER SINGLE/TWIN/QUAD
SAM 300 AUTO WAFER – это продуктовая линия, специально разработанная для контроля в промышленном производстве. Системы этой линии соответствуют чистым комнатам класса 10.
Системы SAM 300 AUTO WAFER применяются главным образом для контроля пластин кремния (MEMS), определения отслоений, включений или расслоений между смежными пластинами.
SAM 1000/2000 инвертированный – это инструмент для особо сложных исследований и промышленного применения, смонтированный на рабочем столе, развязанном от вибрациии. В инструменте объединены акустический и инвертированный оптический микроскопы. Оператор имеет возможность немедленно переключаться с одного на другой микроскоп.
Изображения акустического и оптического микроскопов совмещены по направлениям x-y с точностью до 5 µм, что позволяет оператору сравнивать те же области акустического и оптического изображений.
Частотный диапазон выбирается из пределов:
SAM 1000 100 МГц - 1000 МГц
SAM 2000 100 МГц - 2000 МГц
SAM 1000/2000 – это инструмент для особо сложных исследований и промышленного применения, смонтированный на рабочем столе, развязанном от вибрациии. В инструменте объединены акустический и оптический микроскопы. Оператор имеет возможность немедленно переключаться с одного на другой микроскоп.
Изображения акустического и оптического микроскопов совмещены по направлениям x-y с точностью до 5 µм, что позволяет оператору сравнивать те же области акустического и оптического изображений.
Частотный диапазон выбирается из пределов:
SAM 1000 100 МГц - 1000 МГц
SAM 2000 100 МГц - 2000 МГц
