Компоненты

Главный компонент сканирующего акустического микроскопа – трансдьюсер. Рабочая частота трансдьюсера определяет важные рабочие характеристики микроскопа. В таблице представлены сводные данные зависимости характеристик микроскопа от частоты трансдьюсера.

Группа	Низкая частота	Средняя частота	Высокая частота	Ультравысокая частота
Частота	10-30 МГц	50-75 МГц	100-230 МГц	0,4-2 ГГц
Применение	Анодные соединения, сварки, микросборки	BGA, присоединение кристаллов	Тонкие пластиковые корпуса, перевернутые кристаллы	Керамика, сплавы
Выявляемые дефекты	Неоднородности, трещины	Отслоения, неоднородности, трещины	Отслоения, неоднородности, трещины	Нанопустоты, дефекты, границы
Особенности	Низкое разрешение. Длинное фокусное расстояние. Глубокое проникновение		Высокое разрешение. Короткое фокусное расстояние. Приповерхностное исследование